回転真空炉用ロータリージョイント

半導体製造装置では、二酸化珪素の加工を真空内で行わなければなりません。ある工程では加工時に真空炉を回転させる必要があり、それに伴って真空炉用のロータリージョイントも必要になります。お客様との綿密な打ち合わせを重ね、真空装置用のロータリージョイントが完成致しました。